Ausstattung

Neutronenstreuung an Großforschungseinrichtungen (Meßzeitvergabe)

Röntgenbeugung

  • Hochauflösendes Diffraktometer (Bruker D8 Discover), Standort IEPT

Ionenstrahlanalytik

  • Sekundärionen-Massenspektrometrie (CAMECA IMS 3F/4F)
  • Profilometer (KLA-Tencor AlphaStep 500)

Dünnschichtherstellung

  • Glovebox-Ionenstrahlsputteranlage (IBC 681, Gatan)
  • Mikrotropfen-Beschichtungsanlage

Ofenlabor

  • Rapid-Thermal-Annealing-Anlagen mit Aufheitraten von 20 K/s (600 °C)
  • Hochtemperaturöfen (bis 2200 °C) unter kontrollierter Atmosphäre und Vakuum (UHV)
  • Gasdiffusionsanlagen mit integrierten Quadrupol-Massenspektrometern
  • Hochvakuumanlage mit Sauerstoffpumpe für Sauerstoffpartialdrücke bis 10-22 bar bis zu 1000 °C

Elektrochemie

  • Potentiostaten mit EIS (Biologic SP-50, SP-150)
  • Elektrochemische Zellen für Dünnschicht-Elektroden

Sonstiges

  • Hochauflösende Elektronemikroskopie mit EDX (EVO 15, Zeiss)
  • In-situ-Widerstandsmessungen (Vier-Punkt)
  • Handschuh-Boxen (< 0.1 ppm H2O, O2)