Mechanisches Profilometer Tencor Alphastep (Profilometer)
| Gerätebezeichnung | Kurzform | Zweck | Gebäudenr. | Verantwortlich | Tel,Email |
|---|---|---|---|---|---|
| Mechanisches Profilometer Tencor Alphastep | Profilometer | Oberflächenrauhigkeit, Schichtdicke, Sputtertiefe | 0500 | Dr. Lars Dörrer | lars.doerrer @tu-clausthal.de |