Neutronenstreuung an Forschungseinrichtungen (Meßzeitvergabe)

Neutronenreflektometrie, AMOR (Paul Scherrer Institut, Schweiz)

Neutronenreflektometrie, V6 (Helmholtz-Zentrum Berlin)

Neutronenreflektometrie, MARIA (Heinz Maier-Leibnitz Zentrum Garching)

Röntgendiffraktometrie mit Dünnschichtaufsatz (D5000, Bruker)

Ionenstrahlanalytik

Sekundärionen-Massenspektrometrie(CAMECA IMS 3F/4F)

Profilometer (KLA-Tencor AlphaStep500)

Dünnschichtherstellung

Glovebox-Ionenstrahlsputteranlage (IBC 681, Gatan)

Mikrotropfen-Beschichtungsanlage

Ofenlabor


Rapid-Thermal-Annealing-Analge mit Aufheitraten von 20 K/s (600 °C)

Hochtemperaturöfen (bis 2200 °C) unter kontrollierter Atmosphäre und Vakuum (UHV)

Gasdiffusionsanlagen mit integrierten Quadrupol-Massenspektrometern

Hochvakuumanlage mit Sauerstoffpumpe/Sensor für p(O2) = 1..10-22 bar bis zu 1000 °C

Elektrochemie

Potentiostaten mit EIS (Biologic SP-50, SP-150)

Elektrochemische Zellen für Dünnschicht-Elektroden

Sonstiges

Elektronemikroskopie mit EDX

In-situ-Widerstandsmessungen (Vier-Punkt)

Glove-Box (< 0.1 ppm H20, O2)
 

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